Forno CVD a letto fluido

Forno CVD a letto fluido

Modello:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB è un forno CVD a letto fluidizzato per la deposizione superficiale di polveri. Il gas entra nella parte inferiore del tubo al quarzo e passa attraverso una piastra di quarzo porosa, sospendendo la polvere all'interno della zona riscaldata da 200 mm a . 1200 gradi in meno di 1 ora, a 1150 gradi continui.
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introduzione al prodotto

Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd. è uno dei produttori e fornitori più affidabili di forni CVD a letto fluidizzato in Cina. Benvenuti ad acquistare un forno CVD a letto fluidizzato di alta qualità a prezzi competitivi dalla nostra fabbrica. Se avete domande sulla cooperazione, non esitate a contattarci via email.

 

Forno CVD a letto fluido

 

Specifica

 

Panoramica del prodotto

Il TOB-1200-LTS-FB è un forno CVD a letto fluidizzato costruito per esperimenti di deposizione superficiale di polvere. Un tubo di quarzo ad alta purezza porta una piastra di quarzo poroso nella sua sezione inferiore; la polvere si deposita su quella piastra, il gas viene immesso dal fondo del tubo e il flusso verso l'alto attraverso la piastra solleva le particelle in modo che galleggino all'interno della zona riscaldata mentre avviene la deposizione.

Il forno raggiunge i 1200 gradi in meno di 1 ora e mantiene i 1150 gradi ininterrottamente, con una zona di riscaldamento di 200 mm e una zona a temperatura costante di 100 mm. Il tubo è disponibile con Φ25 mm o Φ50 mm con una lunghezza di 600 mm e la piastra porosa è realizzata in base alla dimensione dei pori richiesta dalla polvere. Un involucro a doppio strato con raffreddamento ad aria, un corpo del forno diviso per la sostituzione del tubo, una protezione del tubo al quarzo e una valvola limitatrice di pressione meccanica sono tutti standard.

 

Caratteristiche ingegneristiche chiave di TOB-1200-LTS-FB

Appositamente costruito per la deposizione di polvere:la piastra di quarzo poroso e l'ingresso del gas sul fondo fanno sì che le particelle siano sospese nella zona riscaldata, non solo collocate al suo interno.

Calotta a doppio strato con raffreddamento ad aria:il rivestimento esterno rimane più fresco rispetto a un forno a parete singola con la stessa temperatura della camera.

Corpo forno diviso e apribile:il corpo si apre per consentire la sostituzione del tubo in quarzo senza smontare il forno.

Protezione del tubo al quarzo:uno schermo attorno al tubo previene lesioni in caso di rottura del quarzo sotto vuoto o shock termico.

Valvola di sicurezza meccanica limitatrice di pressione:protegge dalla sovrapressione se la piastra filtrante in quarzo poroso si intasa.

Camera di allumina con rivestimento ad alta temperatura:Isolamento in fibra di allumina di elevata purezza con rivestimento in allumina ad alta temperatura importato dagli Stati Uniti sulla superficie della camera, per una maggiore efficienza di riscaldamento e una maggiore durata della camera.

Elementi riscaldanti in lega HRE:1200 gradi raggiungibili in meno di 1 ora, 1150 gradi continui, precisione di ±1 grado su una termocoppia di tipo K.

Gruppo di tenuta in acciaio inossidabile:gruppo flangia con doppio O-ring in silicone di serie, con set pompa opzionale fino a 5 × 10⁻¹ Pa (meccanico) o 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

 

Specifiche complete

1. Corpo del forno e specifiche termiche

Parametro Specifica
Potenza dell'attrezzatura 110 V 1,2 kW
Materiale della camera Materiale in fibra di allumina di elevata purezza
Elemento riscaldante Filo in lega per alte temperature HRE
Temperatura massima 1200 gradi (in meno di 1 ora)
Temperatura continua 1150 gradi (continua)
Precisione della temperatura ±1 grado
Termocoppia Termocoppia di tipo K
Velocità di riscaldamento massima Inferiore o uguale a 20 gradi/min
Dimensioni della camera 80 mm×200 mm
Lunghezza della zona di riscaldamento 200mm
Lunghezza della zona a temperatura costante 100mm

 

2. Tubo al quarzo e piastra porosa

Parametro Specifica
Dimensioni del tubo Φ25mm o 50mm × 600mm
Materiale del tubo Tubo al quarzo appositamente realizzato ad alta purezza
Dimensione dei pori della piastra in quarzo poroso 4-550 μm, molteplici specifiche disponibili e personalizzabili

 

3. Sistema di vuoto e sigillatura

Articolo Specifica
Sistema di tenuta Standard: un set di flange di tenuta in acciaio inossidabile con doppio O-ring in silicone, con valvola limitatrice di pressione di sicurezza meccanica e protezione del tubo al quarzo
Set pompa per vuoto meccanica 5 × 10⁻¹ Pa (opzionale)
Set pompa vuoto e turbo 5 × 10⁻³ Pa (opzionale)

 

4. Dimensioni, peso e garanzia

Articolo Specifica
Dimensioni esterne 510 mm × 430 mm × 1000 mm
Peso netto Circa 35 kg
Garanzia Un anno di garanzia, supporto tecnico a vita

 

5. Materiali di consumo ed esclusioni dalla garanzia

Articolo Dettaglio
Materiali di consumo non inclusi L'elemento riscaldante, la termocoppia, il crogiolo del campione e parti di consumo simili non sono inclusi
Gas corrosivi e acidi I danni causati dall'uso di gas corrosivi e gas acidi non sono coperti da garanzia

 

Sistema di controllo

Il controller funziona con un sistema operativo integrato con touchscreen a colori reali da 7 pollici. Quattro funzioni sono importanti per il lavoro ripetibile CVD in polvere:

Funzione Dettaglio
Curve di temperatura memorizzate È possibile pre-memorizzare 15 curve di temperatura, quindi non è necessario impostare nuovamente da zero un diverso processo sperimentale
Sistema operativo incorporato Interfaccia grafica commutabile cinese/inglese, input touchscreen a colori reali da 7 pollici, modalità di dialogo uomo-macchina intelligente
Correzione della temperatura non lineare Correzione non lineare della temperatura del campione, per allineare il valore visualizzato alla temperatura del campione misurata
Inizio programmato Disponibile come funzione opzionale, quindi è possibile impostare l'inizio di una corsa a un'ora prescelta
Protezione del sistema Allarme di sovratemperatura, indicazione di rottura della termocoppia e protezione dalle perdite

Le schermate seguenti seguono l'ordine delle righe sopra: la libreria di curve memorizzata, l'editor di curve, l'interfaccia commutabile, la correzione non lineare, l'avvio programmato e i due allarmi di protezione.

 

 

TOB-1200-LTS-FB fluidized bed CVD furnace with vertical quartz tube and split furnace body

 

 

Il nostro certificato
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