
Forno CVD a letto fluido
TOB-1200-LTS-FB è un forno CVD a letto fluidizzato per la deposizione superficiale di polveri. Il gas entra nella parte inferiore del tubo al quarzo e passa attraverso una piastra di quarzo porosa, sospendendo la polvere all'interno della zona riscaldata da 200 mm a . 1200 gradi in meno di 1 ora, a 1150 gradi continui.
Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd. è uno dei produttori e fornitori più affidabili di forni CVD a letto fluidizzato in Cina. Benvenuti ad acquistare un forno CVD a letto fluidizzato di alta qualità a prezzi competitivi dalla nostra fabbrica. Se avete domande sulla cooperazione, non esitate a contattarci via email.
Forno CVD a letto fluido
Specifica
Panoramica del prodotto
Il TOB-1200-LTS-FB è un forno CVD a letto fluidizzato costruito per esperimenti di deposizione superficiale di polvere. Un tubo di quarzo ad alta purezza porta una piastra di quarzo poroso nella sua sezione inferiore; la polvere si deposita su quella piastra, il gas viene immesso dal fondo del tubo e il flusso verso l'alto attraverso la piastra solleva le particelle in modo che galleggino all'interno della zona riscaldata mentre avviene la deposizione.
Il forno raggiunge i 1200 gradi in meno di 1 ora e mantiene i 1150 gradi ininterrottamente, con una zona di riscaldamento di 200 mm e una zona a temperatura costante di 100 mm. Il tubo è disponibile con Φ25 mm o Φ50 mm con una lunghezza di 600 mm e la piastra porosa è realizzata in base alla dimensione dei pori richiesta dalla polvere. Un involucro a doppio strato con raffreddamento ad aria, un corpo del forno diviso per la sostituzione del tubo, una protezione del tubo al quarzo e una valvola limitatrice di pressione meccanica sono tutti standard.
Caratteristiche ingegneristiche chiave di TOB-1200-LTS-FB
Appositamente costruito per la deposizione di polvere:la piastra di quarzo poroso e l'ingresso del gas sul fondo fanno sì che le particelle siano sospese nella zona riscaldata, non solo collocate al suo interno.
Calotta a doppio strato con raffreddamento ad aria:il rivestimento esterno rimane più fresco rispetto a un forno a parete singola con la stessa temperatura della camera.
Corpo forno diviso e apribile:il corpo si apre per consentire la sostituzione del tubo in quarzo senza smontare il forno.
Protezione del tubo al quarzo:uno schermo attorno al tubo previene lesioni in caso di rottura del quarzo sotto vuoto o shock termico.
Valvola di sicurezza meccanica limitatrice di pressione:protegge dalla sovrapressione se la piastra filtrante in quarzo poroso si intasa.
Camera di allumina con rivestimento ad alta temperatura:Isolamento in fibra di allumina di elevata purezza con rivestimento in allumina ad alta temperatura importato dagli Stati Uniti sulla superficie della camera, per una maggiore efficienza di riscaldamento e una maggiore durata della camera.
Elementi riscaldanti in lega HRE:1200 gradi raggiungibili in meno di 1 ora, 1150 gradi continui, precisione di ±1 grado su una termocoppia di tipo K.
Gruppo di tenuta in acciaio inossidabile:gruppo flangia con doppio O-ring in silicone di serie, con set pompa opzionale fino a 5 × 10⁻¹ Pa (meccanico) o 5 × 10⁻³ Pa (turbo).
Specifiche complete
1. Corpo del forno e specifiche termiche
| Parametro | Specifica |
|---|---|
| Potenza dell'attrezzatura | 110 V 1,2 kW |
| Materiale della camera | Materiale in fibra di allumina di elevata purezza |
| Elemento riscaldante | Filo in lega per alte temperature HRE |
| Temperatura massima | 1200 gradi (in meno di 1 ora) |
| Temperatura continua | 1150 gradi (continua) |
| Precisione della temperatura | ±1 grado |
| Termocoppia | Termocoppia di tipo K |
| Velocità di riscaldamento massima | Inferiore o uguale a 20 gradi/min |
| Dimensioni della camera | 80 mm×200 mm |
| Lunghezza della zona di riscaldamento | 200mm |
| Lunghezza della zona a temperatura costante | 100mm |
2. Tubo al quarzo e piastra porosa
| Parametro | Specifica |
|---|---|
| Dimensioni del tubo | Φ25mm o 50mm × 600mm |
| Materiale del tubo | Tubo al quarzo appositamente realizzato ad alta purezza |
| Dimensione dei pori della piastra in quarzo poroso | 4-550 μm, molteplici specifiche disponibili e personalizzabili |
3. Sistema di vuoto e sigillatura
| Articolo | Specifica |
|---|---|
| Sistema di tenuta | Standard: un set di flange di tenuta in acciaio inossidabile con doppio O-ring in silicone, con valvola limitatrice di pressione di sicurezza meccanica e protezione del tubo al quarzo |
| Set pompa per vuoto meccanica | 5 × 10⁻¹ Pa (opzionale) |
| Set pompa vuoto e turbo | 5 × 10⁻³ Pa (opzionale) |
4. Dimensioni, peso e garanzia
| Articolo | Specifica |
|---|---|
| Dimensioni esterne | 510 mm × 430 mm × 1000 mm |
| Peso netto | Circa 35 kg |
| Garanzia | Un anno di garanzia, supporto tecnico a vita |
5. Materiali di consumo ed esclusioni dalla garanzia
| Articolo | Dettaglio |
|---|---|
| Materiali di consumo non inclusi | L'elemento riscaldante, la termocoppia, il crogiolo del campione e parti di consumo simili non sono inclusi |
| Gas corrosivi e acidi | I danni causati dall'uso di gas corrosivi e gas acidi non sono coperti da garanzia |
Sistema di controllo
Il controller funziona con un sistema operativo integrato con touchscreen a colori reali da 7 pollici. Quattro funzioni sono importanti per il lavoro ripetibile CVD in polvere:
| Funzione | Dettaglio |
|---|---|
| Curve di temperatura memorizzate | È possibile pre-memorizzare 15 curve di temperatura, quindi non è necessario impostare nuovamente da zero un diverso processo sperimentale |
| Sistema operativo incorporato | Interfaccia grafica commutabile cinese/inglese, input touchscreen a colori reali da 7 pollici, modalità di dialogo uomo-macchina intelligente |
| Correzione della temperatura non lineare | Correzione non lineare della temperatura del campione, per allineare il valore visualizzato alla temperatura del campione misurata |
| Inizio programmato | Disponibile come funzione opzionale, quindi è possibile impostare l'inizio di una corsa a un'ora prescelta |
| Protezione del sistema | Allarme di sovratemperatura, indicazione di rottura della termocoppia e protezione dalle perdite |
Le schermate seguenti seguono l'ordine delle righe sopra: la libreria di curve memorizzata, l'editor di curve, l'interfaccia commutabile, la correzione non lineare, l'avvio programmato e i due allarmi di protezione.

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