Macchina di rivestimento a sputtering magnetron sotto vuoto

Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
Vacuum Magnetron Sputtering Coating Machine
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Macchina di rivestimento a sputtering magnetron sotto vuoto

Il rivestimento mediante sputtering magnetron TOB-1100X-SPC-16M sfrutta l'effetto sputtering prodotto dal bombardamento di particelle del materiale target in un ambiente sotto vuoto, che fa sì che gli atomi o le molecole del materiale target fuoriescano dalla superficie solida e che il processo di formazione di una pellicola sottile venga depositato sul substrato.

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Macchina di rivestimento a sputtering magnetron sotto vuoto

Specificazione

Il rivestimento a sputtering magnetron TOB-1100X-SPC-16M sfrutta l'effetto sputtering prodotto dal bombardamento di particelle del materiale target in un ambiente sotto vuoto, che fa sì che gli atomi o le molecole del materiale target fuoriescano dalla superficie solida e il processo di formazione di un film sottile viene depositato sul substrato. Appartiene alla preparazione mediante deposizione fisica da vapore (PVD) della tecnologia a film sottile. Il rivestimento a sputtering magnetron TOB-1100X-SPC-16M può essere utilizzato per la preparazione di campioni di microscopio elettronico a scansione in laboratorio e le dimensioni compatte dell'apparecchiatura consentono di risparmiare spazio in laboratorio; il funzionamento è semplice e adatto all'uso da parte dei principianti.

Caratteristiche

È dotato di un misuratore del vuoto e di un misuratore della corrente di sputtering, in grado di monitorare lo stato di funzionamento in tempo reale.
Regolando il regolatore della corrente di sputtering e la valvola del micro gas sottovuoto, si controlla la pressione della camera a vuoto, la corrente di ionizzazione e si seleziona il gas di ionizzazione necessario per ottenere il miglior effetto di rivestimento.
L'anello di tenuta in gomma sul bordo della campana è appositamente progettato per evitare che la campana in vetro si scheggi durante l'uso prolungato.
I raccordi per elettrodi ad alta tensione con guarnizioni in ceramica sono più durevoli delle guarnizioni in gomma normalmente utilizzate.
In base alle caratteristiche di ionizzazione del gas nel campo elettrico, vengono utilizzate una camera a vuoto di sputtering di grande capacità e un'area corrispondente del bersaglio di sputtering per rendere lo strato sputterato più uniforme e puro.
La testa di sputtering sfrutta la tecnologia di raffreddamento Peltier per ottenere rivestimenti ad alte prestazioni e particelle fini.
Sono disponibili teste di sputtering raffreddate ad acqua e tavoli portanti raffreddati ad acqua.

nome del prodotto	Macchina di rivestimento a sputtering magnetron sotto vuoto
Modello di prodotto	TOB-1100X-SPC-16M
Condizione di installazione	Questa apparecchiatura deve essere utilizzata a un'altitudine di 1000 m o inferiore, a una temperatura di 25 gradi ±15 gradi e un'umidità del 55%Rh±10%Rh. 1. acqua: l'apparecchiatura deve essere dotata di una macchina opzionale per il raffreddamento ad acqua autocircolante (che riempie acqua pura o acqua deionizzata) 2. elettricità: AC220V 50Hz, deve avere una buona messa a terra 3. gas: la camera dell'apparecchiatura deve essere riempita con argon (purezza 99,99% o superiore), è necessario fornire la propria bombola di gas argon (con valvola di riduzione della pressione) 4. Tavolo di lavoro: dimensioni 600mm×600mm×700mm, portata 50kg o più. 5. Dispositivo di ventilazione: non richiesto
Parametro principale	1. Obiettivo: Ø50mm
	2. Camera a vuoto: Ø160mm×120mm
	3. grado di vuoto: inferiore o uguale a 4×10-2mbar
	4, corrente massima: 50mA (opzionale 100mA)
	5. Il tempo limite può essere impostato: 9999s
	6. Micro valvola del vuoto: collegare il tubo flessibile Ø3mm
	7. tensione limite: 1600V DC
	8. pompa meccanica: 2L/s
	9. Materiale di destinazione: Requisiti dimensionali:φ50mm×(0.1-0.5)mm(spessore) Adatto per lo sputtering di Au, Ag, Cu e altri metalli (disponibili presso la nostra azienda)
	10. Dimensioni: 360 mm × 300 mm × 380 mm Peso totale: 50 Kg, Peso netto: 15 Kg