Vano portaoggetti e macchina di rivestimento sotto vuoto

Modello:TOB-GB-ZK

Applicazione

Viene utilizzato principalmente per la ricerca sperimentale e l'applicazione di perovskite di celle solari, OLED e PLED, preparazione di semiconduttori e così via.

Principio di funzionamento

Questo sistema è integrato con il sistema di rivestimento sotto vuoto e il sistema del vano portaoggetti, che può completare l'evaporazione del film sottile nella camera di evaporazione ad alto vuoto e conservare, preparare e testare i campioni dopo l'evaporazione sotto l'atmosfera di gas inerte ad elevata purezza nel vano portaoggetti.

Vantaggi

La combinazione del rivestimento di evaporazione e del vano portaoggetti realizza la produzione completamente chiusa di evaporazione, imballaggio, test e altri processi, in modo che l'intero processo di crescita della pellicola e di preparazione del dispositivo sia altamente integrato in un sistema di atmosfera ambientale completamente controllabile, eliminando l'influenza di fattori instabili nell'ambiente atmosferico durante la preparazione di circuiti organici di ampia area e garantendo la preparazione di dispositivi e circuiti optoelettronici organici di ampia area e ad alte prestazioni.

Versatile sistema di rivestimento sputtering magnetron

Principali applicazioni

Viene utilizzato per preparare varie pellicole metalliche, pellicole per semiconduttori, pellicole dielettriche, pellicole magnetron, pellicole ottiche, pellicole superconduttrici, pellicole sensibili e pellicole funzionali con varie esigenze speciali.